氣相成底膜鍍膜機(jī) HMDS真空烘箱設(shè)備選型參考

更新時間：2025-11-05

瀏覽次數(shù)：262

　　氣相成底膜鍍膜機(jī) HMDS真空烘箱烘箱選型

　　這類設(shè)備通常屬于特種真空鍍膜設(shè)備或表面處理設(shè)備的范疇。上海雋思既有標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型，也常見根據(jù)客戶工藝需求定制的非標(biāo)設(shè)備。

　　根據(jù)不同種類氣體及應(yīng)用基材可分為以下不同機(jī)型：

　　增粘劑：HMDS真空處理系統(tǒng)(HMDS真空烘箱),主要用于半導(dǎo)體、芯片、掩膜版等光刻工藝增強(qiáng)光刻膠粘附性；

　　納米陶瓷材料、航天保溫材料、等新材料表面改性處理，以達(dá)到防水、防油、防腐的作用。

　　偶聯(lián)劑：偶聯(lián)劑蒸鍍機(jī)(偶聯(lián)劑真空涂膠機(jī))，主要用于半導(dǎo)體、生物芯片、派瑞、林鍍膜預(yù)處理、光學(xué)玻璃防油/防指紋等工藝，疏水性處理。

　　脫模劑：脫模劑蒸鍍機(jī)(抗粘劑蒸鍍機(jī))，主要用于納米壓印工藝中圖像轉(zhuǎn)移時，與模板脫離的抗粘性處理；

　　憎水劑：憎水性處理系統(tǒng)(憎水劑涂布機(jī))，主要用于介孔材料、納米纖維棉、防水防腐保溫卷材、建筑材料等

　　氣相成底膜鍍膜機(jī) HMDS真空烘箱選型時需考慮的關(guān)鍵點(diǎn)：

　　1. 腔體尺寸：根據(jù)您的產(chǎn)品尺寸和形狀即產(chǎn)量決定。

　　高校及科研機(jī)構(gòu)可選：300*300*300(可兼容1-8寸產(chǎn)品)或450*450*450mm(可兼容1-12寸產(chǎn)品)內(nèi)尺寸；

　　半導(dǎo)體、生物芯片、納米壓印等可選450*450*450或500*500*600mm(可兼容1-12寸產(chǎn)品)，可定制；

　　納米陶瓷材料、航天保溫材料、等新材料可選500*500*600mm或1000*1000*1000(可定制)

　　納米介孔材料、纖維棉、防水防腐保溫卷材、建筑材料等可選1000*1000*1000或1700*1000*1800mm(可定制)

　　2. 最高工作溫度：必須滿足您所用偶聯(lián)劑的反應(yīng)溫度要求。

　　常用工作溫度為80-160℃

　　3. 真空度范圍：決定了環(huán)境的潔凈度和可控性。

　　常用500-80000pa

　　4. 氣體系統(tǒng)的精度與穩(wěn)定性：這是成膜質(zhì)量的核心。

　　氣體系統(tǒng)根據(jù)氣體種類不同定制

　　5. 自動化程度：根據(jù)您的生產(chǎn)節(jié)拍和工藝穩(wěn)定性要求選擇。

　　可選標(biāo)配機(jī)型、智能型、自動化MES系統(tǒng)

　　總結(jié)來說，氣相成底膜鍍膜機(jī) HMDS真空烘箱設(shè)備是一種G端、精密的表面工程技術(shù)裝備。它通過將偶聯(lián)劑處理從“濕化學(xué)”領(lǐng)域提升到“干法氣相”領(lǐng)域，

　　實(shí)現(xiàn)了對界面結(jié)構(gòu)的原子/分子級精確控制，是制造業(yè)和前沿科學(xué)研究中不能缺的專用設(shè)備。