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硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-16訪 問 量：1695
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硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱概述
硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風循環(huán)方式，雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到所需控制精度。
溫度記錄儀
a) 寬視角高分辨TFT彩色液晶屏
b) 六通道、無紙記錄方式
c) 曲線、數(shù)字、棒圖、總覽、報警、歷史畫面顯示
d) 通過網(wǎng)絡(luò)在PC機遠程查看本體畫面
e) 多功能面板按鍵
f) 批處理啟/停記錄，并生成數(shù)據(jù)文件
g) 數(shù)據(jù)安全保證
h) 400MB大內(nèi)存
i) 二進制數(shù)據(jù)存儲
j) 網(wǎng)絡(luò)化數(shù)據(jù)冗余
箱體結(jié)構(gòu)
a) 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統(tǒng)組裝而成
結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
b) 箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，可防止微塵；
c) 內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿 性蘇打水清潔
去油污避免烘烤PARTICLE；
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