無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱概述

   百級潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱特點

Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；

Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標

Ø 無塵等級：Class 100;     

Ø 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

Ø 溫度均勻度：±2℃;    

Ø 溫度波動度：±0.5℃；        

Ø 溫控精度：±0.1℃;

Ø 進風(fēng)口：N2進氣、流量計控制;

Ø 排風(fēng)口：排風(fēng)管;     

Ø 電源：380v , 50Hz；

Ø保護裝置：超溫保護，漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關(guān)。   

Ø 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤；

Ø 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

無氧烤箱，智能無氧烤箱

一．無氧烤箱，智能無氧烤箱概述
       無氧化烤箱在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
      智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場設(shè)備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理；實現(xiàn)智能設(shè)備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話，實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。
二．無氧烤箱，智能無氧烤箱技術(shù)參數(shù)
1、主要技術(shù)指標
Ø 含氧量：<100/50/20ppm;
Ø 溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200/450℃；
Ø 溫度均勻度：±1℃;
Ø 溫度波動度：±0.5℃;（空載）
Ø 溫控精度：0.1℃;
Ø 烘箱擱板為活動形式;
2、箱體結(jié)構(gòu)
Ø 外殼材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板，表面磷化處理后平光漆
Ø 內(nèi)膽材料：優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼滿焊制作
Ø 隔  板：2-5層不銹鋼網(wǎng)版
Ø 保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好
Ø 溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié)，并具有PID自整定，自動恒溫等功能
Ø 超溫保護:獨立配置超溫保護儀，超過溫度上限，自動報警并主動切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出：SSR無觸點繼電器模塊，靈敏度高，壽命長
Ø 測溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測溫，放心使用
Ø 定時裝置：高精度數(shù)顯自動定時器，0-99.99小時恒溫時間設(shè)定，可預(yù)設(shè)烘烤時間
Ø 報警系統(tǒng)：APT/AD16型聲光報警系統(tǒng)，時間到聲光報警并自動切斷加熱
Ø 電器元件：采用電器
Ø 安全裝置：漏電，短路，過載保護；鼓風(fēng)電機過載缺相保護
三．無氧烤箱，智能無氧烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)
      智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)，通過物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠程智能服務(wù)，包括遠程監(jiān)控、遠程預(yù)警、遠程維護、數(shù)據(jù)分析等。智能服務(wù)拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務(wù)系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠程監(jiān)護與維護平臺、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能APP自助服務(wù)系統(tǒng)，實現(xiàn)功能包括以下幾類：
●  對各類產(chǎn)品的多種數(shù)據(jù)進行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實時監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務(wù)；
● 產(chǎn)品智能化服務(wù)的成功應(yīng)用可以大大提高工作效率，服務(wù)維護成本顯著降低，產(chǎn)品差異化程度提升。