無塵烤箱廠家無塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

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產品詳情

無塵烤箱廠家

維護保養

1．檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

2．風機運轉是否正常。

3．維修工檢查電流是否正常。

4．檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。

5．檢查發熱管有無損壞，線路是否老化。

6．檢查延時器是否準確，誤差是否允許。

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無塵烤箱廠家應用

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

技術指標

無塵等級：Class 100、10;

溫度范圍：RT+10～300℃；

溫度均勻度：±2℃;

溫度波動度：±0.5℃（空載）

溫控精度：±0.1℃;

工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm）（可定做）

電源：380v , 50Hz，6KW

網板：2塊（高度可調節)

無塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

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