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半導體烘烤設備

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更新日期
2025-09-17

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高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺

高精度晶圓熱板，恒溫加熱臺用于固化光刻膠、晶圓烘烤、光刻工藝軟烘（前烘）、硬烘（堅膜）、掩膜版烘烤、柔性電路板烘烤、固化環氧塑脂等，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化，電路模塊的涂敷燒結和考核。熱板溫度穩定度高，重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

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精密烤膠機，高精度烘膠臺

精密烤膠機，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

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2025-09-17

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精密烤膠臺，高精度烘膠機

精密烤膠臺，高精度烘膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩定度高，重復性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

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掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板

掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結和考核等工藝。

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2025-09-17

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